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Products產(chǎn)品中心

掃描電鏡等離子清洗機

簡要描述:CIF掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠(yuǎn)程等離子清洗源,在實現(xiàn)高效、快速清洗的同時,能顯著降低對樣品的轟擊損傷。本設(shè)備主要用于清除SEM、FIB等儀器腔體及樣品表面的碳?xì)浠衔镂廴?,兼容國?nèi)外主流電鏡品牌,保障設(shè)備性能與成像質(zhì)量。

  • 產(chǎn)品型號:CIF-SEM
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2026-05-14
  • 訪  問  量:14230

詳細(xì)介紹

品牌CIF產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源

    CIF掃描電鏡等離子清洗機

CIF掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠(yuǎn)程等離子清洗源,在實現(xiàn)高效、快速清洗的同時,能顯著降低對樣品的轟擊損傷。本設(shè)備主要用于清除SEM、FIB等儀器腔體及樣品表面的碳?xì)浠衔镂廴?,兼容國?nèi)外主流電鏡品牌,保障設(shè)備性能與成像質(zhì)量。
    產(chǎn)品特點

u 遠(yuǎn)程等離子清洗源:從物理空間上隔離等離子體與樣品,有效減少直接轟擊。

u 高效快速清洗:顯著縮短前處理時間,快速清除碳?xì)浠衔锏任廴疚铩?/span>

u 極低樣品損傷:優(yōu)化后的工藝能最大限度保護(hù)樣品原始結(jié)構(gòu)與表面形貌。
技術(shù)參數(shù)

型號

CIF-SEM

等離子電源

13.56MHz射頻電源,功率5-150W連續(xù)可調(diào),配備遠(yuǎn)程等離子源與自動阻抗匹配器

工作氣壓

0.3 - 3 Pa(典型工藝范圍)

法蘭接口

KF40(兼容CF40)

氣路控制

標(biāo)配雙路質(zhì)量流量計(MFC,量程0-500 sccm),流量自動穩(wěn)定,不受環(huán)境溫壓波動影響

工藝氣源

支持氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種高純氣體,滿足不同清洗工藝需求

真空互鎖

采用真空計與電磁閥安全互鎖機制,保障系統(tǒng)運行安全

可選氣源擴展

可外接高純氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器(氫氣純度>99.999%,流量0-500 sccm)

人機界面

7英寸全彩觸摸屏,配備中英文雙語交互界面

整機尺寸

385mm (長) × 400 mm (寬) × 495 mm (高)

包裝尺寸

535 mm (長) × 520 mm (寬) × 735 mm (高)

電源輸入

AC 220V,50/60Hz,額定功率320W。

整機重量

27 kg。

質(zhì)量承諾

二年質(zhì)保,終身維護(hù)







 

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