產(chǎn)品分類(lèi)
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CIF等離子增強(qiáng)器是專(zhuān)為CVD管式爐研發(fā)的升級(jí)改造模塊,通過(guò)加裝等離子體發(fā)生裝置,可將傳統(tǒng)熱CVD設(shè)備直接升級(jí)為PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積)系統(tǒng),大幅降低用戶采購(gòu)全新PECVD設(shè)備的投入成本,適配科研、半導(dǎo)體、新能源等多領(lǐng)域薄膜制備需求。

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